真空镀膜机生产线设备辅助抽气系统:排气系统为镀膜机真空系统的重要部分,主要有由机械泵、增压泵(主要介绍罗茨泵)、油扩散泵三大部分组成。此排气系统采用“扩散泵+机械泵+罗茨泵+低温冷阱+polycold”组成。排气流程为:机械泵先将真空腔抽至小于2.0*10-2PA左右的低真空状态,为扩散泵后继抽真空提供前提,之后当扩散泵抽真空腔的时候,机械泵又配合油扩散泵组成串联,以这样的方式完成抽气动作。
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金属在真空中加热时会变成气体而蒸发,真空蒸发就是利用此原理。处理时多在10-5Torr以下的真空中进行,金属及各种化合物都可当作被附着物质,其应用例有镜片、反射镜、塑胶零件等;但是以金属表面硬化为目的的用途则很少,主要多用于装饰性物件。