镀膜设备应该在高真空下工作,真空值的优劣可以直接危害表层的镀膜的质量。有时镀膜设备的真空值抽不出来或是真空值不太好,可能是连接头松脱或是有焊接发生脱焊。传统式的气密性试验方式应该镀膜设备关机,充氮,再在猜测有漏的位置涂上肥皂泡,整个过程用时费事极易错判,针对微小的泄露没法检验。诺益氦质谱检漏仪运用氦气做为示踪气体,小漏率低于5E-13Pam3/s,安全环保,检漏时无需关机,立即在机械泵的旁通连接测漏仪便可以迅速有效的进行检验了。
真空系统是镀膜机达到工艺条件的基本设备,其真空度达不到或者达到真空度速度慢,都有可能是由于存在漏点所致,所以真空卷绕镀膜机设备的真空系统需要定期真空检漏。真空卷绕镀膜机通常采用氦质检漏仪来查漏,主要用负压法检漏即将氦质谱检漏仪的检漏口接入镀膜机的真空系统,在可能泄漏地方喷氦检漏。
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真空镀膜机为什么会越来越慢这种情况有两种可能
1、设备内部由于长时间镀膜导致有些脏东西在加热时放气,所以这种情况需要维护,即把内部屏蔽板拆下喷砂或脱膜,清理。
2、由微小的渗漏,没有发现,尤其是各个传动部位密封,这种情况就是比较难查,如果没有检漏仪,就只能一部分一部分拆卸或用盲板逐步替换予以排除。也有人用注射针头注射酒精观察真空计的变化检查,但一般漏的不大时不好判断,至于你说的真空1.9的那个其实也并不高,还有就是漏率是按照你的设备体积以及单位时间的真空下降程度来算的不是按照真空值计算的,比如你的真空泵抽速好,抽气能力强就有可能克服微漏而使真空显示较高的数值。
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