真空镀膜设备存有着气密性差的问题，假如镀膜设备维护保养进行后，能做一次气密性试验，就可以规避许多不合格产品的造成，做到节省成本费用的效果。

镀膜设备应该在高真空下工作，真空值的优劣可以直接危害表层的镀膜的质量。有时镀膜设备的真空值抽不出来或是真空值不太好，可能是连接头松脱或是有焊接发生脱焊。传统式的气密性试验方式应该镀膜设备关机，充氮，再在猜测有漏的位置涂上肥皂泡，整个过程用时费事极易错判，针对微小的泄露没法检验。诺益氦质谱检漏仪运用氦气做为示踪气体，小漏率低于5E-13Pam3/s，安全环保，检漏时无需关机，立即在机械泵的旁通连接测漏仪便可以迅速有效的进行检验了。
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如何处理真空镀膜的灰尘呢
1、设备使用的源材料要符合必要的纯度要求。
2、设备样品取出后要注意放置环境的清洁问题。
3、真空镀膜一段时间后，真空室内壁要清洁处理。
4、真空镀膜清洗衬底材料，要做到严格合乎工艺要求。
5、真空镀膜适当的增加环境的湿度，有利于降低周围环境的悬浮固体颗粒物。
6、工作人员在操作时需要戴手套、脚套等，要有的服装。
由于灰尘对镀膜效果会产生比较大的影响，因此为了避免在真空镀膜设备中留下灰尘，应该在使用中注意以上几点来尽量避免，除此也要注意经常清洗，避免灰尘越积越多。
真空镀膜工艺在信息存储范畴中的运用薄膜资料作为信息记载于存储介质，有其得天厚的优势：因为薄膜很薄能够疏忽涡流损耗；磁化回转极为敏捷；与膜面平行的双稳态状况简单保持等。为了更精细地记载与存储信息，必定要选用镀膜技能。