真空系统是镀膜机达到工艺条件的基本设备，其真空度达不到或者达到真空度速度慢，都有可能是由于存在漏点所致，所以真空卷绕镀膜机设备的真空系统需要定期真空检漏。真空卷绕镀膜机通常采用氦质检漏仪来查漏，主要用负压法检漏即将氦质谱检漏仪的检漏口接入镀膜机的真空系统，在可能泄漏地方喷氦检漏。

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真空镀膜机工艺在光学仪器中的运用大家了解的光学仪器有望远镜、显微镜、照相机、测距仪，以及平时生活用品中的镜子、眼镜、放大镜等，它们都离不开镀膜技能，镀制的薄膜有反射膜、增透膜和吸收膜等几种。