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真空镀膜机为什么会越来越慢这种情况有两种可能
1、设备内部由于长时间镀膜导致有些脏东西在加热时放气,所以这种情况需要维护,即把内部屏蔽板拆下喷砂或脱膜,清理。
2、由微小的渗漏,没有发现,尤其是各个传动部位密封,这种情况就是比较难查,如果没有检漏仪,就只能一部分一部分拆卸或用盲板逐步替换予以排除。也有人用注射针头注射酒精观察真空计的变化检查,但一般漏的不大时不好判断,至于你说的真空1.9的那个其实也并不高,还有就是漏率是按照你的设备体积以及单位时间的真空下降程度来算的不是按照真空值计算的,比如你的真空泵抽速好,抽气能力强就有可能克服微漏而使真空显示较高的数值。
如何处理真空镀膜的灰尘呢
1、设备使用的源材料要符合必要的纯度要求。
2、设备样品取出后要注意放置环境的清洁问题。
3、真空镀膜一段时间后,真空室内壁要清洁处理。
4、真空镀膜清洗衬底材料,要做到严格合乎工艺要求。
5、真空镀膜适当的增加环境的湿度,有利于降低周围环境的悬浮固体颗粒物。
6、工作人员在操作时需要戴手套、脚套等,要有的服装。
由于灰尘对镀膜效果会产生比较大的影响,因此为了避免在真空镀膜设备中留下灰尘,应该在使用中注意以上几点来尽量避免,除此也要注意经常清洗,避免灰尘越积越多。